射频微电子机械系统（RF-MEMS）是一种基于MEMS的射频无源器件，与传统的微波器件相比，它具有许多优点，包括提高隔离度、降低功耗、降低成本、尺寸和重量。其中最成功的是RF-MEMS开关。本篇文章纳米软件Namisoft将为大家详细分享一下射频MEMS芯片测试解决方案。

　　该技术可用于智能手机、移动基础设施、物联网和国防等领域的各种无线通信应用。它们可用于天线调谐、阻抗匹配、天线波束形成、相移以及为软件可定义无线电（SDR）开发可调谐滤波器。

　　RF MEMS是MEMS技术的重要应用领域之一，也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。RFMEMS用于射频和微波频率电路中的信号处理，是一项将能对现有雷达和通讯中射频结构产生重大影响的技术。随着信息时代的来临，在无线通信领域，特别是在移动通信和卫星通信领域，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能与信号处理电路集成的平面结构的新型器件，并希望能覆盖包括微波、毫米波和亚毫米波在内的宽频波段。而通讯系统中仍有大量不可或缺的片外分立元件，例如电感、可变电容、滤波器、耦合器、移相器、开关阵列等，成为限制系统尺寸进一步缩小的瓶颈。RF MEMS技术的出现有望解决这个难题。采用RF MEMS技术制造的无源器件能够直接和有源电路集成在同一芯片内，实现射频系统的片内高集成，消除由分立元件带来的寄生损耗，真正做到系统的高内聚，低耦合，能显著提高系统的性能。

　　下一代电信系统和智能手机对RF MEMS开关和其他RF MEMS器件的需求在不断增长。根据半导体市场调研机构Yole Développement的报告，RF MEMS器件市场将大幅增长。Yole指出，由于5G设备中需要有源天线，5G通信的发展将增加对基于MEMS的器件（如RF BAW滤波器）的需求。此外，RF MEMS振荡器会被用于部署与5G相关的新基站和边缘计算。

　　纳米软件Namisoft的RF MEMS芯片自动测试方案

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　　NSAT-1000 RF MEMS芯片自动测试系统能够实现对线缆等无源器件进行自动化测试，测试场景如图所示。用户只要录入测试被测产品的批次号、型号以及编号，便可对产品进行自动测试，并保存测试数据到数据库，用户可根据需要查询测试数据并生成报表。

　　◆兼容中电41所（思仪）、是德科技（Keysight）、安捷伦(Aglient)、日本安立（Anritsu）、罗德与施瓦茨（R&S）、韩国兴仓（Protek）、美国泰克（Tektronix）、创远和德力等主流网络分析仪型号；智能匹配仪器型号，操作方便简单，提高测试效率；

　　◆自动测量射频微波无源器件（包括滤波器、功分器、天线、放大器、衰减器、混频器、耦合器等）的S参数、增益、损耗、阻抗、平坦度、隔离度等指标；

　　◆自动保存配置信息、测试数据到数据库中，方便随时查询；

　　◆自动生成测试报告，用户可根据需要定制报告模板；

　　◆支持电脑安装和仪器内部安装两种模式，方便用户选择；

　　◆内置多语言支持，针对网络分析仪系统的中英文不同版本可自动匹配；